1. Toplu Qaz Sisteminin Tərifi:
İnert qazların saxlanması və təzyiqə nəzarət Qaz növləri: Tipik inert qazlar (azot, arqon, sıxılmış hava və s.)
Boru kəmərinin ölçüsü: 1/4-dən (monitorinq boru kəməri) 12 düymlük əsas boru kəmərinə qədər
Sistemin əsas məhsulları bunlardır: diafraqma klapan/körüklü klapan/kürə klapan, yüksək təmizlikli birləşdirici (VCR, qaynaq forması), ferrul birləşdiricisi, təzyiq tənzimləyici klapan, manometr və s.
Hazırda yeni sistem həmçinin saxlama və daşınma üçün stasionar qaz balonlarından və ya sistern yük maşınlarından istifadə edən toplu xüsusi qaz sistemini də əhatə edir.
2. Təmizləmə Sisteminin Tərifi:
Yüksək təmizlikli qaz kəmərləri üçün kütləvi qazlardan çirklərin çıxarılması
3. Qaz Şkaflarının Tərifi:
Xüsusi qaz mənbələri (zəhərli, tez alışan, reaktiv, aşındırıcı qazlar) üçün təzyiqə nəzarət və axın monitorinqini təmin edin və qaz silindrlərini əvəz etmək imkanına sahib olun.
Məkan: Xüsusi qazların saxlanması üçün Sub-fab mərtəbəsində və ya alt mərtəbədə yerləşir Mənbə: NF3, SF6, WF6 və s.
Boru kəmərinin ölçüsü: Daxili qaz kəməri, ümumiyyətlə texnoloji boru kəməri üçün 1/4 düym, 1/4-3/8 düym əsasən yüksək təmizlikli azot təmizləmə boru kəməri üçün.
Əsas məhsullar: Yüksək təmizlikli diafraqma klapanları, çek klapanlar, təzyiqölçənlər, təzyiqölçənlər, yüksək təmizlikli birləşdiricilər (VCR, qaynaq forması) Bu qaz şkafları, əsasən, qazın fasiləsiz təchizatı və silindrlərin təhlükəsiz dəyişdirilməsini təmin etmək üçün silindrlər üçün avtomatik keçid imkanlarına malikdir.
4. Paylanma Tərifi:
Qaz mənbəyinin qaz toplama bobininə qoşulması
Xəttin ölçüsü: Çip fabrikində toplu qaz paylayıcı boru kəmərinin ölçüsü ümumiyyətlə 1/2 düymdən 2 düymədək dəyişir.
Qoşulma forması: Xüsusi qaz kəmərləri ümumiyyətlə qaynaq yolu ilə, heç bir mexaniki əlaqə və ya digər hərəkət edən hissələr olmadan birləşdirilir, çünki qaynaq bağlantısı güclü sızdırmazlıq etibarlılığına malikdir.
Çip fabrikində, qaz ötürmək üçün birləşdirilmiş yüzlərlə kilometr boru var, bunlar əsasən təxminən 20 fut uzunluğunda və bir-birinə qaynaqlanır. Bəzi boru əyilmələri və boru qaynaq birləşmələri də çox yaygındır.
5. Çox funksiyalı klapan qutusu (Valve Manifold Box, VMB) Tərif:
Qaz mənbəyindən xüsusi qazların müxtəlif avadanlıq uclarına paylanmasıdır.
Daxili boru kəmərinin ölçüsü: 1/4 düymlük proses boru kəməri və 1/4 - 3/8 düymlük təmizləmə boru kəməri. Sistem işə salınan klapanlar və ya əl klapanları ilə daha aşağı qiymətli vəziyyətlər tələb etmək üçün kompüter nəzarətindən istifadə edə bilər.
Sistem məhsulları: yüksək təmizlikli diafraqma klapanlar/körüklü klapanlar, yoxlama klapanları, yüksək təmizlikli birləşmələr (VCR, mikro qaynaq forması), təzyiq tənzimləyici klapanlar, təzyiqölçənlər və manometrlər və s. Bəzi inert qazların paylanması üçün Valve Manifold Paneli - VMP (çox funksiyalı klapan diski) əsasən istifadə olunur, açıq qaz diski səthinə malikdir və qapalı məkan dizaynı və əlavə azot tələb etmir. təmizləmək.
6. İkinci dərəcəli klapan lövhəsi/qutusu (Alətlərə qoşulma paneli) Tərif:
Yarımkeçirici avadanlıq üçün tələb olunan qazı qaz mənbəyindən avadanlıq ucuna birləşdirin və müvafiq təzyiq tənzimləməsini təmin edin. Bu panel VMB (çox funksiyalı klapan qutusu) ilə müqayisədə avadanlığın sonuna daha yaxın olan qaz idarəetmə sistemidir.
Qaz kəmərinin ölçüsü: 1/4 - 3/8 düym
Maye boru kəmərinin ölçüsü: 1/2 - 1 düym
Boşaltma boru kəmərinin ölçüsü: 1/2 - 1 düym
Əsas məhsullar: diafraqma klapan/körüklü klapan, birtərəfli klapan, təzyiq tənzimləyici klapan, manometr, təzyiqölçən, yüksək təmizlikli birləşmə (VCR, mikro qaynaq), yüksük birləşmə, top klapan, şlanq və s.
Göndərmə vaxtı: 22 noyabr 2024-cü il