1. Toplu Qaz Sisteminin Tərifi:
İnert qazların saxlanması və təzyiqə nəzarəti Qaz növləri: Tipik inert qazlar (azot, argon, sıxılmış hava və s.)
Boru kəmərinin ölçüsü: 1/4-dən (monitorinq boru kəməri) 12 düymlük əsas boru kəmərinə qədər
Sistemin əsas məhsulları bunlardır: diafraqma klapanı/silfon klapanı/kürə klapanı, yüksək təmizlikli konnektor (VCR, qaynaq forması), ferrul konnektoru, təzyiq tənzimləyici klapan, təzyiqölçən və s.
Hazırda yeni sistemə həmçinin saxlama və daşınma üçün sabit qaz silindrlərindən və ya sisternlərdən istifadə edən toplu xüsusi qaz sistemi də daxildir.
2. Təmizləmə Sisteminin Tərifi:
Yüksək təmizlikli qaz boru kəmərləri üçün toplu qazlardan çirklərin təmizlənməsi
3. Qaz Şkaflarının Tərifi:
Xüsusi qaz mənbələri (zəhərli, alışan, reaktiv, korroziyaya uğrayan qazlar) üçün təzyiq nəzarəti və axın monitorinqini təmin etmək və qaz silindrlərini dəyişdirmək qabiliyyətinə malik olmaq.
Yer: Xüsusi qazların saxlanması üçün alt mərtəbədə və ya alt mərtəbədə yerləşir. Mənbə: NF3, SF6, WF6 və s.
Boru kəmərinin ölçüsü: Daxili qaz boru kəməri, ümumiyyətlə emal boru kəməri üçün 1/4 düym, əsasən yüksək təmizlikli azot təmizləyici boru kəməri üçün 1/4-3/8 düym.
Əsas məhsullar: Yüksək təmizlikli diafraqma klapanları, yoxlama klapanları, təzyiq ölçən cihazlar, təzyiq ölçən cihazlar, yüksək təmizlikli konnektorlar (VCR, qaynaq forması). Bu qaz şkafları əsasən silindrlərin fasiləsiz qaz təchizatını və silindrlərin təhlükəsiz dəyişdirilməsini təmin etmək üçün avtomatik keçid imkanlarına malikdir.
4. Paylanma Tərifi:
Qaz mənbəyini qaz toplama bobinə qoşmaq
Xətt ölçüsü: Çip fabrikində toplu qaz paylama boru kəmərinin ölçüsü ümumiyyətlə 1/2 düymdən 2 düymə qədər dəyişir.
Qoşulma forması: Xüsusi qaz boru kəmərləri ümumiyyətlə qaynaq yolu ilə, heç bir mexaniki əlaqə və ya digər hərəkət edən hissələr olmadan birləşdirilir, əsasən qaynaq bağlantısı güclü möhürləmə etibarlılığına malik olduğundan.
Çip zavodunda qaz ötürmək üçün təxminən 20 fut uzunluğunda və qaynaq edilmiş yüzlərlə kilometr uzunluğunda borular birləşdirilir. Bəzi boru əyilmələri və borulu qaynaq birləşmələri də çox yaygındır.
5. Çoxfunksiyalı klapan qutusu (Klapan Manifold Qutusu, VMB) Tərif:
Bu, qaz mənbəyindən müxtəlif avadanlıq uclarına xüsusi qazların paylanmasıdır.
Daxili boru kəmərinin ölçüsü: 1/4 düymlük emal boru kəməri və 1/4 - 3/8 düymlük təmizləmə boru kəməri. Sistem, işə salınan klapanları tələb etmək üçün kompüter idarəetməsindən və ya əl ilə işləyən klapanlarla daha ucuz vəziyyətlərdən istifadə edə bilər.
Sistem məhsulları: yüksək təmizlikli diafraqma klapanları/silfon klapanları, yoxlama klapanları, yüksək təmizlikli birləşmələr (VCR, mikroqaynaq forması), təzyiq tənzimləyici klapanlar, təzyiq ölçən cihazlar və təzyiq ölçən cihazlar və s. Bəzi inert qazların paylanması üçün əsasən açıq qaz disk səthinə malik olan və qapalı məkan dizaynı və əlavə azot təmizlənməsi tələb etməyən Klapan Manifold Paneli - VMP (çoxfunksiyalı klapan diski) istifadə olunur.
6. İkinci dərəcəli klapan lövhəsi/qutusu (Alət Qoşma Paneli) Tərif:
Yarımkeçirici avadanlığın tələb etdiyi qazı qaz mənbəyindən avadanlığın ucuna qoşun və müvafiq təzyiq tənzimlənməsini təmin edin. Bu panel, VMB-dən (çoxfunksiyalı klapan qutusu) daha yaxın olan avadanlığın ucuna daha yaxın olan qaz idarəetmə sistemidir.
Qaz boru kəmərinin ölçüsü: 1/4 - 3/8 düym
Maye boru kəmərinin ölçüsü: 1/2 - 1 düym
Boşaltma boru kəmərinin ölçüsü: 1/2 - 1 düym
Əsas məhsullar: diafraqma klapanı/silfon klapanı, birtərəfli klapan, təzyiq tənzimləyici klapan, təzyiqölçən, təzyiqölçən, yüksək təmizlikli birləşmə (VCR, mikroqaynaq), ferrul birləşmə, kürə klapan, şlanq və s.
Yazı vaxtı: 22 Noyabr 2024