As yarımkeçiriciMikroelektronika texnologiyaları daha yüksək performans və daha yüksək inteqrasiya istiqamətində inkişaf etdikcə, elektron xüsusi qazların təmizliyinə daha yüksək tələblər qoyulur. Yüksək təmizlikli qaz boru kəməri texnologiyası yüksək təmizlikli qaz təchizatı sisteminin vacib hissəsidir. Bu, keyfiyyəti qoruyarkən qaz istifadə nöqtələrinə tələblərə cavab verən yüksək təmizlikli qazların çatdırılması üçün əsas texnologiyadır.
Yüksək təmizlikli boru texnologiyasına sistemin düzgün dizaynı, boru armaturlarının və köməkçi materialların seçilməsi, tikinti və quraşdırma və sınaq daxildir.
01Qaz ötürücü boru kəmərlərinin ümumi konsepsiyası
Bütün yüksək təmizlik və yüksək təmizlik səviyyəli qazlar boru kəmərləri vasitəsilə terminal qaz nöqtəsinə nəql edilməlidir. Qaz ixrac indeksi müəyyən olduqda, qaz üçün proses keyfiyyəti tələblərinə cavab vermək üçün boru kəməri sisteminin material seçiminə və tikinti keyfiyyətinə diqqət yetirmək daha vacibdir. Qaz istehsalı və ya təmizlənməsi avadanlığının dəqiqliyinə əlavə olaraq, boru kəməri sisteminin bir çox amilləri də buna böyük təsir göstərir. Buna görə də, boruların seçimi müvafiq təmizlənmə sənayesi prinsiplərinə riayət etməli və rəsmlərdə boruların materialını qeyd etməlidir.
02Qaz nəqlində yüksək təmizlikli boru kəmərlərinin əhəmiyyəti
Yüksək təmizlikli qaz nəqlində yüksək təmizlikli boru kəmərlərinin əhəmiyyəti Paslanmayan polad əritmə prosesində hər ton təxminən 200 q qazı uda bilir. Paslanmayan polad emal edildikdən sonra onun səthində müxtəlif çirkləndiricilər qalmaqla yanaşı, metal qəfəsində müəyyən miqdarda qaz da udulub. Boru kəmərindən hava axını keçdikdə, metal tərəfindən udulan qaz hissəsi yenidən hava axınına daxil olur və təmiz qazı çirkləndirir.
Borudakı hava axını kəsildikdə, boru keçən qaz üzərində təzyiq adsorbsiyası əmələ gətirir. Hava axını keçməyi dayandırdıqda, boru tərəfindən adsorbsiya edilən qaz təzyiq azaltma analizi əmələ gətirir və təhlil edilən qaz da borudakı təmiz qaza çirk kimi daxil olur.
Eyni zamanda, adsorbsiya və analiz dövrü borunun daxili səthindəki metalın müəyyən miqdarda toz əmələ gətirməsinə səbəb olacaq. Bu metal toz hissəciyi həmçinin borudakı təmiz qazı çirkləndirir. Borunun bu xüsusiyyəti çox vacibdir. Daşınan qazın təmizliyini təmin etmək üçün borunun daxili səthinin son dərəcə yüksək hamarlığa malik olması ilə yanaşı, yüksək aşınma müqavimətinə də malik olması tələb olunur.
Qaz güclü korroziya xüsusiyyətlərinə malik olduqda, boru kəmərləri üçün korroziyaya davamlı paslanmayan polad borulardan istifadə edilməlidir. Əks təqdirdə, korroziya səbəbindən borunun daxili səthində korroziya ləkələri əmələ gələcək. Ağır hallarda, böyük metal parçaları soyulacaq və ya hətta deşiləcək və bununla da daşınan təmiz qazı çirkləndirəcək.
03Boru materialı
Borunun material seçimi istifadə ehtiyaclarına uyğun olaraq seçilməlidir. Borunun keyfiyyəti ümumiyyətlə borunun daxili səthinin kələ-kötürlüyünə görə ölçülür. Kələ-kötürlük nə qədər aşağı olarsa, hissəciklərin daşınması ehtimalı bir o qədər azdır. Ümumiyyətlə üç növə bölünür:
BiriEP dərəcəli 316L boru, elektrolitik cilalanmış (Elektro-Pila) materialdır. Korroziyaya davamlıdır və aşağı səth pürüzlülüyünə malikdir. Rmax (maksimum zirvədən dərə hündürlüyünə qədər) təxminən 0,3μm və ya daha azdır. Ən yüksək düzlüyə malikdir və mikro-burulğan cərəyanları əmələ gətirmək asan deyil. Çirklənmiş hissəcikləri çıxarın. Prosesdə istifadə olunan reaksiya qazı bu səviyyədə boru kəməri ilə çəkilməlidir.
Biri birBA dərəcəsi 316LBright Anneal ilə işlənmiş və tez-tez çiplə təmasda olan, lakin proses reaksiyasında iştirak etməyən qazlar, məsələn, GN2 və CDA üçün istifadə olunan boru. Biri xüsusi olaraq işlənməyən və ümumiyyətlə qaz təchizatı xətləri kimi istifadə edilməyən ikiqat xarici boru dəstləri üçün istifadə olunan AP borusudur (Tavlama və Seçmə).
04 Boru kəmərinin tikintisi
Boru ağzının emalı bu tikinti texnologiyasının əsas məqamlarından biridir. Boru kəmərinin kəsilməsi və əvvəlcədən hazırlanması təmiz mühitdə aparılır və eyni zamanda, kəsilməzdən əvvəl boru kəmərinin səthində zərərli izlərin və ya zədələrin olmaması təmin edilir. Boru kəmərini açmazdan əvvəl boru kəmərində azotun yuyulması üçün hazırlıq işləri aparılmalıdır. Prinsipcə, yüksək təmizlikli və yüksək təmizlikli qaz ötürmə və paylama boru kəmərlərini böyük axınla birləşdirmək üçün qaynaq istifadə olunur, lakin birbaşa qaynağa icazə verilmir. Korpus birləşmələrindən istifadə edilməli və istifadə olunan boru materialının qaynaq zamanı strukturunda heç bir dəyişiklik olmaması tələb olunur. Həddindən artıq yüksək karbon tərkibli material qaynaq edilərsə, qaynaq hissəsinin hava keçiriciliyi borunun içərisindəki və xaricindəki qazın bir-birinə nüfuz etməsinə səbəb olacaq, daşıyan qazın təmizliyini, quruluğunu və təmizliyini pozacaq ki, bu da ciddi nəticələrə səbəb olacaq və istehsal keyfiyyətinə təsir göstərəcək.
Xülasə, yüksək təmizlikli qaz və xüsusi qaz ötürücü boru kəmərləri üçün xüsusi işlənmiş yüksək təmizlikli paslanmayan polad borudan istifadə edilməlidir ki, bu da yüksək təmizlikli boru kəməri sisteminin (boru kəmərləri, boru armaturları, klapanlar, VMB, VMP daxil olmaqla) yüksək təmizlikli qaz paylanmasında həyati əhəmiyyət kəsb etməsinə səbəb olur.
Yazı vaxtı: 26 Noyabr 2024