As yarımkeçiricivə mikroelektron texnologiyaları daha yüksək performans və daha yüksək inteqrasiya istiqamətində inkişaf edir, elektron xüsusi qazların təmizliyinə daha yüksək tələblər qoyulur. Yüksək təmizlikli qaz boru kəmərləri texnologiyası yüksək təmizlikli qaz təchizatı sisteminin mühüm hissəsidir. Bu, yüksək keyfiyyətli qazın keyfiyyətini qoruyaraq, qazdan istifadə məntəqələrinə tələblərə cavab verən yüksək təmizlikli qazların çatdırılması üçün əsas texnologiyadır.
Yüksək təmizlikli boru kəmərləri texnologiyasına sistemin düzgün dizaynı, boru fitinqlərinin və köməkçi materialların seçilməsi, tikinti-quraşdırma və sınaq daxildir.
01 Qaz ötürücü boru kəmərlərinin ümumi konsepsiyası
Bütün yüksək təmizlik və yüksək təmizliyə malik qazlar boru kəmərləri vasitəsilə terminal qaz məntəqəsinə nəql edilməlidir. Qaz ixracı indeksi müəyyən olduqda, qaz üçün proses keyfiyyətinin tələblərinə cavab vermək üçün boru sisteminin material seçiminə və tikinti keyfiyyətinə daha çox diqqət yetirmək lazımdır. Qaz hasilatı və ya təmizləyici avadanlığın düzgünlüyünə əlavə olaraq, boru kəməri sisteminin bir çox amillərindən də böyük dərəcədə təsirlənir. Buna görə də, boruların seçilməsində müvafiq təmizləmə sənayesi prinsiplərinə riayət etmək və boruların materialını təsvirlərdə qeyd etmək lazımdır.
02 Qaz nəqlində yüksək təmizliyə malik boru kəmərlərinin əhəmiyyəti
Yüksək təmizlikli qaz nəqlində yüksək təmizliyə malik boru kəmərlərinin əhəmiyyəti Paslanmayan poladdan əridilmə prosesi zamanı hər ton təxminən 200 q qaz qəbul edə bilir. Paslanmayan polad emal edildikdən sonra onun səthinə nəinki müxtəlif çirkləndiricilər ilişib qalır, həm də onun metal qəfəsinə müəyyən miqdarda qaz sorulur. Boru kəmərindən keçən hava axını olduqda, qazın metal tərəfindən udulmuş hissəsi yenidən hava axınına daxil olacaq və təmiz qazı çirkləndirəcəkdir.
Boruda hava axını kəsildikdə, boru keçən qazda təzyiq adsorbsiyasını əmələ gətirir. Hava axınının keçməsi dayandıqda, boru ilə adsorbsiya olunan qaz təzyiqin azaldılması analizini təşkil edir və analiz edilən qaz da çirk kimi borudakı təmiz qaza daxil olur.
Eyni zamanda, adsorbsiya və analiz dövrü borunun daxili səthindəki metalın müəyyən miqdarda toz istehsal etməsinə səbəb olacaqdır. Bu metal toz hissəcikləri də borudakı təmiz qazı çirkləndirir. Borunun bu xüsusiyyəti çox vacibdir. Daşınan qazın saflığını təmin etmək üçün borunun daxili səthinin son dərəcə yüksək hamarlığına malik olması tələb olunmur, həm də onun yüksək aşınma müqavimətinə malik olması tələb olunur.
Qazın güclü korroziya xassələri olduqda, boru kəmərləri üçün korroziyaya davamlı paslanmayan polad borulardan istifadə edilməlidir. Əks halda, korroziya səbəbindən borunun daxili səthində korroziya ləkələri görünəcəkdir. Ağır hallarda, böyük metal parçaları soyulacaq və ya hətta perforasiya ediləcək və bununla da daşınan təmiz qazı çirkləndirəcəkdir.
03 Boru materialı
Boru üçün material seçimi istifadə ehtiyaclarına uyğun olaraq seçilməlidir. Borunun keyfiyyəti ümumiyyətlə borunun daxili səthinin pürüzlülüyünə görə ölçülür. Pürüzlülük nə qədər aşağı olarsa, hissəcikləri daşıma ehtimalı bir o qədər azdır. Ümumiyyətlə üç növə bölünür:
BiriEP dərəcəli 316L boru, elektrolitik cilalanmışdır (Elektro-Polşa). Korroziyaya davamlıdır və aşağı səth pürüzlülüyünə malikdir. Rmax (maksimum zirvədən vadinin hündürlüyünə) təxminən 0,3μm və ya daha azdır. Ən yüksək düzlüyə malikdir və mikro girdablı cərəyanlar yaratmaq asan deyil. Çirklənmiş hissəcikləri çıxarın. Prosesdə istifadə olunan reaksiya qazı bu səviyyədə borularla verilməlidir.
Biri aBA dərəcəsi 316LBright Anneal tərəfindən emal edilmiş və tez-tez çiplə təmasda olan, lakin proses reaksiyasında iştirak etməyən qazlar üçün istifadə olunan boru, məsələn, GN2 və CDA. Bunlardan biri xüsusi təmizlənməmiş və qaz təchizatı xətti kimi istifadə edilməyən ikiqat xarici borular üçün istifadə olunan AP borusudur (Tavlama və Seçmə).
04 Boru kəmərinin tikintisi
Boru ağzının emalı bu tikinti texnologiyasının əsas məqamlarından biridir. Boru kəmərinin kəsilməsi və hazırlanması təmiz mühitdə aparılır və eyni zamanda kəsilməzdən əvvəl boru kəmərinin səthində zərərli izlərin və zədələnmələrin olmaması təmin edilir. Boru kəmərinin açılmasından əvvəl boru kəmərində azotun yuyulması üçün hazırlıq işləri aparılmalıdır. Prinsipcə, qaynaq yüksək təmizlikli və yüksək təmizliyə malik qaz nəqli və paylayıcı boru kəmərlərini böyük axınla birləşdirmək üçün istifadə olunur, lakin birbaşa qaynağa icazə verilmir. Korpus birləşmələri istifadə edilməli və qaynaq zamanı istifadə olunan boru materialının strukturunda heç bir dəyişiklik olmaması tələb olunur. Həddindən artıq karbon tərkibli material qaynaqlanırsa, qaynaq hissəsinin hava keçiriciliyi borunun içərisində və xaricində qazın bir-birinə nüfuz etməsinə səbəb olur, nəql edən qazın təmizliyini, quruluğunu və təmizliyini pozur və bu, ağır nəticələrə səbəb olur. və istehsalın keyfiyyətinə təsir göstərir.
Xülasə, yüksək təmizliyə malik qaz və xüsusi qaz ötürmə boru kəmərləri üçün yüksək təmizliyə malik boru kəməri sistemini (boru kəmərləri, boru fitinqləri, klapanlar, VMB, VMP daxil olmaqla) xüsusi təmizlənmiş yüksək təmizlikli paslanmayan polad borudan istifadə etmək lazımdır. yüksək təmizlikdə qaz paylanmasında mühüm missiya.
Göndərmə vaxtı: 26 noyabr 2024-cü il