UHP Qaz Çatdırılma Sistemləri Niyə Bu Qədər Kritikdir?
Yarımkeçirici istehsalında — aşındırma, CVD, ion implantasiyası və litoqrafiya kimi proseslərdə — proses qazları ultra yüksək təmizlik, adətən 99.9999% (6N) və ya hətta 99.99999% (7N) olmalıdır. Hətta ppb (milyardda hissə) və ya ppt (trilyonda hissə) səviyyəsindəki iz çirkləndiriciləri — məsələn, nəm və ya oksigen — qapı oksidinin incəlməsi, metal boşluqları və ya lövhələrdə qısaqapanmalar kimi ölümcül qüsurlara səbəb ola bilər və potensial olaraq bütün partiyaları tullantıya çevirə bilər.
Buna görə də, UHP qaz çatdırılma sisteminin missiyası qazları mənbədən proses alətinə təmizlikdə heç bir pozulma olmadan nəql etmək, hər nöqtədə həm çirklənmənin, həm də sızmanın qarşısını almaqdır.
Niyə EP Boruları UHP Sistemlərinin Əsas Sümüyünə Olur?
EP (Elektrocilalanmış) borular elektrokimyəvi cilalama prosesindən keçən paslanmayan poladdan hazırlanır və güzgüyə bənzər daxili səth yaradır. Bu, onu UHP qaz paylanması üçün əvəzolunmaz "arteriya"ya çevirir.
Ən yüksək təmizlik – Mənbədə qarşısının alınması
EP emalı daxili səth pürüzlülüyünü (Ra) 0,13 µm – 0,25 µm və ya daha da aşağı salır. Bu ultra hamar örtük mikroskopik yarıqları və adsorbsiya yerlərini aradan qaldırır və hissəciklərin, metal ionlarının və ya nəmin yapışması üçün yer qoymur.
Korroziyaya Qarşı Gücləndirilmiş Müqavimət – Saflığın Qorunması
Elektro cilalama mərhələsi səth çirklərini təmizləyir və xrom oksidi ilə zəngin passiv təbəqə əmələ gətirir, Cl₂, CF₄ və HCl kimi korroziyalı qazlara qarşı müqaviməti əhəmiyyətli dərəcədə artırır. Bu, boru divarlarında hissəciklər və ya qaz çirklənməsi yarada biləcək korroziyanın qarşısını alır.
Təkmilləşdirilmiş Axın Səmərəliliyi və Daha Sürətli Təmizləmə
Hamar daxili divar axın müqavimətini azaldır və sistemin təmizlənməsini və qazın əvəzlənməsini sürətləndirir. Sürətli qaz keçidi tələb edən proseslərdə bu, dövr müddətlərini qısaldır və əla məhsuldarlığı artırır.
Premium Material – “Crown” Standard
Yüksək keyfiyyətli EP boruları 316L VIM-VAR (Vakuum İnduksiya Əriməsi + Vakuum Qövs Yenidən Əriməsi) paslanmayan poladdan istehsal olunur. Bu ikiqat ərimə prosesi, EP-nin son performansına nail olmaq üçün əsas şərt olan əsas metalın həddindən artıq həcmli təmizliyini təmin edir.
Əsas Tətbiq Ssenariləri
•
Əsas Proseslər– Aşındırma, Ürək-Dəyişiklik, ion implantasiyası və litoqrafiya üçün yüksək təmizlikli reaktiv qazların çatdırılması.
•
Xüsusi Qazlar– SiH₄, PH₃, Cl₂ və BCl₃ kimi tezalışan, zəhərli və ya korroziyaya uğrayan qazların təhlükəsiz istifadəsi. Son dərəcə təhlükəli qazlar üçün tez-tez ikiqat tutumlu EP borularından istifadə olunur (qaz üçün daxili boru, sızmanın monitorinqi üçün azotla boşaldılmış və ya təmizlənmiş xarici örtük).
•
Kritik Avadanlıq– Ultra təmiz daxili səthlərin məcburi olduğu qaz paylama panellərində (QPP), qaz şkaflarında və emal alətlərinin birləşmələrində istifadə olunur.
Boruların Kənarında: Tam UHP Sistemi üçün Digər Əsaslar
Mütləq bütövlüyü təmin etmək üçün sistem həmçinin aşağıdakıları əhatə etməlidir:
•
Tam Avtomatik Orbital Qaynaq– ISO 5-ci Sinif (100-cü Sinif) və ya daha yüksək təmiz otaqlarda yerinə yetirilir, əl ilə qaynaq zamanı yaranan sapmaları və çirklənmə risklərini aradan qaldırır.
•
Tamamilə Metal Üz Möhürləyici Fitinqlər– Məsələn, sıfır sızma performansı üçün metal contalardan istifadə edən VCR® və ya W-Seal növləri.
•
Ciddi Təmizləmə və Qablaşdırma– EP boruları adətən yüksək təmizlikli su ilə təmizlənir, qurudulur və quraşdırılana qədər "göndərildikdən sonra" təmizliklərini qorumaq üçün təmiz otaq qablaşdırmasına ikiqat qoyulmazdan əvvəl azotla təmizlənir.
EP boruları sadəcə bir boru deyil - yarımkeçirici qaz çatdırılmasında ilk müdafiə xəttidir. Onun ultra hamar səthi, üstün korroziyaya davamlılığı və yüksək keyfiyyətli material təmizliyi lövhə məhsuldarlığına, cihazın etibarlılığına və ümumi istehsal gəlirliliyinə birbaşa təsir göstərir. 5 nm-dən aşağı düyünlər və getdikcə daha sərt qüsur büdcələri dünyasında EP boruları könüllü deyil - təməldir.
Yazı vaxtı: 05 Avqust 2026